当社で培ったWLCSPテーピングでの経験・技術を反映したオリジナル設備を備え、
高精度・高品質のソーティングを可能としております。
当社は2019年よりソーティングを開始しております。
ソーティングとはウェハリングやトレイから良品をピックアップし、トレイやウェハリングへの並び替える加工作業です。
ソーティングの最重要項目として、ソート精度の他に品質精度向上を目的とした全数画像検査を行います。
画像検査にはWLCSPテーピングで培った経験・技術を最大限反映させ、チップの表裏側面の6面外観検査を可能としており、お客様のニーズに最大限お応えする設備体制を整えております。
| SPEC | ソーター機/上面検査機 | ウェハ→ウェハ機 | 6面外観検査機 |
|---|---|---|---|
| 対応可能品 | □0.6～□8 | □0.6～□3 | □0.6～□3 |
| ウェハーサイズ | 6・8インチ | 6・8インチ | 6・8インチ |
| トレイサイズ | 2・3・4インチ | 2インチ | 2インチ |
| 加工内容 | ウェハー→トレイ トレイ→トレイ | ■基本仕様 ウェハー→ウェハー | ■基本仕様 ウェハー→トレイ ウェハー→ウェハー ■弊社独自仕様 トレイ→トレイ、ウェハ→シート トレイ→ウェハ、トレイ→シート |
| 検査内容 | お客様のご要望により 各不良項目を設定 | お客様のご要望により 各不良項目を設定 | お客様のご要望により 各不良項目を設定 |
| 画像精度 | 1画素：1μm or 3.4μm （製品サイズにより選定） | 1画素：1.7μm | 表裏面：1画素：1.7μm 側面：1画素：2.4μm |
| 設備能力 | 2,500K/M | 8,000K/M | 4,000K/M |
| クリーンルーム | クラス10,000 | クラス10,000 | クラス10,000 |
検査部
画像検査付きソーティング装置
- 工程フロー概要
-
ソーティング
- 受入検査
- ピックアップ
- 裏面検査
- トレイ挿入
- 上面検査
- 最終外観検査
リングtoリング
- 受入検査
- ピックアップ
- 側面検査
- 表面検査
- 裏面検査
- シート貼り付け
- 最終外観検査
